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余摆线真空泵的简介

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发表于 2015-8-10 11:56:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
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发表于 2015-8-11 06:40:49 | 显示全部楼层

余摆线型转子在泵腔内作行星运动,使工作室容积周期性变化以实现抽气。在泵腔内各运动件表面间用油膜密封,所以余摆线真空泵时一种油封式机械真空泵。它主要由泵体和转子构成。转子的型线为余摆线,泵腔型线为转子型线的外包络线。转子上的内齿轮与固定在泵盖上的小齿轮啮合。
  当转动轴旋转时,偏心轮即带动内齿轮绕小齿轮作行星运动,泵体点永远与转子表面接触,将泵腔分隔为A和B室。转自逆时针方向旋转,A室内压力逐渐降低,气体从吸气口不断被吸入,同时B室内的气体逐渐被压缩,通过排气阀排出泵外。
  从结构原理和使用性能来看,余摆线泵与同类型泵相比有很多优点:
  1.运转平稳、振动小、尺寸小、抽速大
  2.在低压范围内(1-100pa)其抽速野性曲线由于滑阀泵
  3.对被抽气体中含有一定量的粉尘及小颗粒等不太敏感
  4.适应较高温度的工作环境,可通过温控装置使泵腔保持较高温度,以抽除大量的可凝性水蒸汽。
  由于余摆线泵在1-10pa压力范围内仍具有很大的抽速,因此该泵适用于真空行业中的大排气量装置。目前已在真空冶金、真空热处理、真空干燥等行业中得到应用
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